设备名称

型号

测试项目

收费标准

位置

仪器管理员

院外

X射线光电子能谱仪

ESCALAB QXi

常规（全谱加精细谱）

300元/样：包含一个全谱和4个元素（包含C)精细谱（精细谱默认元素最强峰），超过4个元素每增加一个元素单价加60元

综合楼204

胡磊

角分辨

+100元/每个角度

敏感样品手套箱

+200元/样

磁性样品（强磁需要消磁）

+200元/样

表面清洗

+120元/120s内，后+40元/每增加60s

氩离子刻蚀

单次刻蚀：+240元/10nm内，
后+80元/10nm（多次刻蚀累加价格）

团簇刻蚀

单次刻蚀：+340元/10nm内，
后+100元/10nm（多次刻蚀累加价格）

微区

400nm以上：300/样；
300nm~400nm：+100/样；
200nm~300nm:+300/样；
100nm~200nm：+500/样；
50nm~100nm：+700/样；
20nm~50nm：+900/样

大尺寸样品
（高度需小于3mm）

直径5mm-10mm：+80元/样；
直径10mm-20mm：+280元/样；
直径20mm-30mm：+480元/样

UPS

200元/样

ISS

700元/样

Reels

700元/样

数据分析

400元/首个；300元/两个以上

Mapping（成像空间分辨率3μm）

1600元/h：需明确元素

原位高低温（123K-1000K）

1200元/h

送样须知

1

样品要求：粉末样品提供20-30mg，量少请用铝箔纸包好再装到管子里寄送；块状/薄膜：长宽厚不超5*5*3mm（如需手套箱制样，样品高度不超过2mm）；样品不易挥发。如果样品尺寸大于5*5*3mm，会按尺寸增加费用，具体见收费标准。

2

测试说明：原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号！元素窄谱测试默认测最强峰轨道，H、He元素不可以测试，放射性元素请提前沟通。如有特殊要求请备注。

3

默认给测试的原始数据，所有数据不矫正，（因不同的材料矫正方法不同），不平滑。

4

测试位置数量：默认是一个样品测试一个位置，需要测试多个位置按照多个样品计费。薄膜、块体等样品，若样品表面组分不均匀，会造成测试结果的差异。

5

使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量PEAK TABLE的结果不能参考，常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p等。

6

特殊需求：样品含S、F、I、Br、Hg、Cl、P等元素单质不能测试或其他特殊需求请联系管理员。

7

样品包装要求：样品制备好以后，尽可能进行真空密封，减少样品吸附空气中的污染物，对于某些元素的测试，比如常见的C、O，会有影响。

8

若因为样品不均匀导致的结果差异，复测需要收取一定的费用。

9

XPS测试需要样品用双面胶固定在样品台上，所以测过的粉末样品没法回收，块体样品回收可能也受到污染或者破坏，建议尽量不回收样品。

10

XPS设备分辨率小于等于0.5eV，即重复测试同样品同位置有0.5eV偏差是合理现象。

11

数据格式：默认赛默飞VGD格式-软件Avantage；靶材：Al靶。