仪器品牌：赛默飞世尔科技公司

仪器型号：ESCALAB QXi

基本功能：

1. 常规测试：XPS全谱、精细谱，元素定性定量，价态定性定量测试分析。

2. 特殊测试：角分辨、敏感样品手箱套、磁性样品、微区测试、Mapping、原位高低温（123K-1000K）、UPS、ISS、Reels。

3. 刻蚀清洗：使用氩离子和团簇离子进行表面清洗和刻蚀。

仪器主要技术参数：

1. 真空系统：分析室真空  度≤5.0×10-10mbar；进样真空度≤7.0×10-9mbar

2. 光源功率300W

3. 光源束斑尺寸200/300/400/500/600/700/800/900μm可调

4. 能量极限分辨率和对应灵敏度：在光源功率≤300W时，对Ag3d5/2峰，极限半宽高≤0.43eV，计数率强度≥90kcps

5. 大束斑能量分辨率和对应灵敏度：在光源功率≤300W时，对Ag3d5/2峰能量分辨1.0eV时，计数率强度≥4.0Mcps；能量分辨为0.45eV时，计数率强度≥150kcps

6. 通过能范围：1～400eV，并可连续调节，调节步长0.1eV，在每个通能下均可工作采谱

7.XPS成像：成像空间分辨率3μm

送样要求： 

1. 样品要求：粉末样品提供20-30mg，量少请用铝箔纸包好再撞到管子里寄送；块状/薄膜：长宽厚不超5*5*3mm（如需手套箱制样，样品高度不超过2mm），如果样品尺寸大于5*5*3mm，会按尺寸增加费用。

2.测试说明：原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号！元素窄谱测试默认测最强峰轨道，H、He元素不可以测试，放射性元素请提前沟通。如有特殊要求请备注

3.我们默认给测试的原始数据，所有数据不矫正，（因不同的材料矫正方法不同），不平滑。

4.测试位置数量：默认是一个样品测试一个位置，需要测试多个位置按照多个样品计费。薄膜、块体等样品，若样品表面组分不均匀，会造成测试结果的差异。

5.使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量PEAK TABLE的结果不能参考，常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL等。

6.特殊需求：样品含S、F、I、Br、Hg、Cl、P等元素单质不能测试或其他特殊需求请联系当地项目经理。

7.样品包装要求：样品制备好以后，尽可能进行真空密封，减少样品吸附空气中的污染物，对于某些元素的测试，比如常见的C、O，会有影响。

8. 若因为样品不均匀导致的结果差异，复测需要收取一定的费用。

9. XPS测试需要样品用双面胶固定在样品台上，所以测过的粉末样品没法回收，块体样品回收可能也受到污染或者破坏，建议尽量不回收样品。

10.请知晓：XPS设备分辨率小于等于0.5eV，即重复测试同样品同位置有0.5eV偏差是合理现象。

11.如需特殊事项，请备注留言，如数据格式（默认赛默飞VGD格式-软件Avantage，岛津VMS格式-软件Casa，PHI-SPE格式-软件Multipak），靶材，默认测试使用Al靶。

联系方式：

测试地点：综合楼204

管理人员：胡磊

联系方式：18623603767