ZYGO激光干涉仪是精密光学测量领域的佼佼者，以其卓越的性能和可靠性服务于全球的科研与工业领域。4英寸ZYGO激光干涉仪，作为该系列产品中的一员，专为高精度的表面形貌测量设计，广泛应用于光学元件、半导体器件、精密机械零部件等领域的质量控制与研发。

该仪器采用非接触式的测量方式，通过激光干涉技术实现对目标表面的纳米级精度测量。其核心技术基于麦克尔逊干涉原理，通过分析从被测物体表面反射回来的光波与参考光波之间的干涉图案，精确计算出被测表面的形貌。

ZYGO主要性能：

（1）光源：大功率，长寿命，稳频HE-NE激光器

（2）RMS重复性：< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

（3）条纹分辨率：可以同时在1X, 1.7X, 3X分辨250个条纹

（4）成像分辨率：1200x1200像素

（5）帧速：50HZ

（6）window 7的操作系统

 (7) 视场放大：1x，1.7x, 3x光学变焦，50x数码变焦

（8）高质量的分立光学放大倍率

4英寸ZYGO激光干涉仪的特点包括：

• 高精度：能够达到纳米级的测量精度，满足高端制造业对精度的严格要求。
• 高分辨率：提供高质量的干涉图像，使得微小的表面缺陷也能被清晰地识别和测量。
• 易操作性：配备了用户友好的操作界面，使得复杂的测量工作变得简单快捷。
• 广泛的应用：不仅适用于平面、球面等传统光学元件的测量，也能够应用于异形面、微结构等复杂形状的高精度测量。

总之，4英寸ZYGO激光干涉仪是一款集高精度、高分辨率、易操作于一体的先进光学测量设备，是科研和工业领域不可或缺的精密测量工具。

送样要求：

平面镜样品最大尺寸小于φ100mm；不能测试磁性样品。

联系方式：

测试地点：中科院重庆绿色智能技术研究院综合楼702房间

管理人员：陈建军

联系电话：15310807202