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微纳加工测试

自动变焦三维表面测量仪

仪器品牌:Keyence

仪器型号:VHX系列

 

基本功能: 

1.观测功能:自动对焦功能、对焦范围显示功能、照明切换功能、全方位多功能照明功能、防抖动补正功能。

2.显示功能:全屏显示、画面分割、实时数码变焦、批注显示功能。

3.画质改善功能:反光消除功能、HDR画质增强功能、最佳图像预览功能。

4.记录功能:图片拍摄功能、定时拍照功能、录像功能。

5.2D测量功能:包括任意两点间距离,半径,直径,同心度,交叉线,垂线,平行线,角度测量功能等;

6.3D功能:实时深度合成、高画质深度合成、3D显示功能、3D形状校正成、3D轮廓,3D彩色/标尺显示高度,3D尺寸测量成等。

 

仪器主要技术参数:

1.倍率:20-200工作距离:25.5mm;500-5000倍,工作距离:4.4mm

2.分辨率:最高1μm。 

3.载物台倾斜范围:左侧60度,右侧90度

4.Z轴马达:5相步进电机,步进0.1μm;Z方向自动载物台电动移动范围49mm;XY方向移动范围±20mm;

5.照明:同时带有透射和反射两种照明方式;载物台底部自带透射光源;采用高亮度LED灯,色温5700K左右;

 

送样要求:

 

联系方式:

测试地点:综合楼207

管理人员:邬小静

联系电话:15730346690