仪器品牌：日本电子株式会社（JEOL）

仪器型号：JSM-7800F

基本功能：

1.配备LED和UED探 头，可进行SEM、GB等不同多种工作模式间的切换，实现高倍率二次电子图像的采集。

2.配有背散射探头，可进行背散射电子图像的采集。

3.结合OXFORD的X-Max50能谱探测器，可进行成分分析，以及元素的线扫描、面分布分析。

4.搭载EXENOS电子束光刻系统，可进行纳米级光刻。 

仪器主要技术参数：

1.分辨率：0.8nm(15kV)，1.2nm(1kV)

2.放大倍数：25~1000,000x

3.加速电压：0.01~30kV

4.束流强度：200nA(15kV)

5.电子枪:浸没式热场发射电子枪

6.物镜设计:超级混合式物镜

7.样品台:5轴马达驱动

送样要求：

1.固体粉末或块状样品，块状直径小于40mm，高度小于30mm，样品表面无浮粉，粉末样品粘贴后用氮枪吹去浮粉。

2.测试样品应具有良好的导电性且无磁性(磁铁吸不起来)，导电性差的样品测试前联系管理老师进行喷金等处理。

3.测试样品热稳定性好，不含有水分或其它易挥发物，任何潮湿含有水分的样品一律不接受观测请求。 

联系方式： 

测试地点：综合楼208

管理人员：卢虹颖

联系电话：13399887381