仪器品牌：ABM, Inc.

仪器型号：ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M

基本功能：

通过紫外波长光线，将掩膜版或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质（光刻胶）的表面上。

仪器主要技术参数：

1.曝光时间：0.1至999.9秒(可调节精度0.1s)；
2.光强均匀性Beam Uniformity:：<±1% over 2英寸区域，<±2% over 4英寸区域，<±3% over 6英寸区域；
3.波长365nm紫外光源，强度18-20 mW/cm2；
4.正面对准精度±0.5um，背面对准精度±1um-±2um；
5.支持正胶、负胶及Su8胶等的厚胶光刻，特征尺寸：100um-300um；
6.支持真空、接近式、接触式曝光；
7.支持恒定光强或恒定功率模式；

送样要求：

1.样品最大尺寸不超过9英寸（圆/方片）；

2.曝光前样品必须保存在暗盒里，不能经过自然光或者蓝光的照射；

3.其他要求面议

联系方式：

放置地点：综合楼南超净间

管理人员：戴玉洁

联系电话：18680703116